技術參數

.離子源：離子槍兩支配有稀土磁鐵的潘寧離子槍，高性能無耗材，拋光角度±10°, 每支離子槍可獨立調節，離子束能量100 eV 到 8.0 keV，離子束流密度10 mA/cm2 峰值離子束直徑可用氣體流量計或放電電壓來調節；

.真空系統：干泵系統80 L/s 的渦輪分子泵配有兩級隔膜泵，壓力：5 x 10-6 torr 基本壓力，8 x 10-5 torr 工作壓力，真空規冷陰極型用于主樣品室；固體型用于前級機械泵，樣品空氣鎖Whisperlok專利技術，無需破壞主樣品室真空即可裝卸樣品，樣品交換時間< 1 min

應用范圍

用于EBSD樣品制備；截面樣品制備；

金屬材料（合金，鍍層）；

石油地質巖石礦物；光電材料；

化工高分子材料；新能源電池材料。