技術參數

二次電子分辨率：0.8 nm (加速電壓 15 kV) (標準模式，非任何減速模式下)

1.1 nm (加速電壓 1 kV)(減速模式)

放大倍數：20 到 1000k         加速電壓：20-1000k

電位移：±12μm(WD=8mm)

光闌：4孔物鏡活動光闌系統：內置自清潔裝置（孔徑30、50、50、100μm）

探測器：低位（Lower）、高位（Upper）二次電子探測器、高位過濾背散射探頭

信號選擇：二次電子像、背散射電子像、混合像

快速換樣系統：100mm直徑大樣品交換倉，換樣時間30秒

真空轉移系統：日立原裝真空轉移系統

能譜儀：布魯克60mm2能譜

應用范圍

1、加速電壓減速功能，具有波長較短、像差較小、分辨力高的一系列優點，降低樣品損傷的同時，可以獲得低電壓高分辨的圖像。2、SE/BSE信號按比例接收功能，電鏡配有低位（Lower），高位（Upper）二次電子探測器，高位過濾背散射探頭，可以通過改變透鏡內變換電極的電壓，讓檢測器捕捉到二次電子及背散射電子，以任意比例（100級）混合，達到最 佳對比度的觀察，抑制荷電、邊緣效應，從而獲得對比度最 佳的SEM像。