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測試與失效分析

Testing and Failure Analysis
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3D光學顯微鏡

設備型號：DVM6
針對各類儲能業務需求，TIES力圖發展成為布局全面，面向市場，集測試分析、失效分析、資質認證、技術開發、工程放大、智能制造、高價值信息服務、高端培訓為一體的研發型企業。 聯系我們

技術參數

  1. 目鏡：視場數22mm ，10倍，帶屈光度校正；

  2.物鏡：6位或7位電動物鏡轉盤，配接32mm直徑工業物鏡；

  3.聚光鏡：復消色差光路；

  4. 調焦系統：2-齒輪高精度電動調焦驅動器


應用范圍

形貌和微細結構成像

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掃描電子顯微鏡（SEM）
技術參數二次電子分辨率：0.8 nm (加速電壓 15 kV) (標準模式，非任何減速模式下)1.1 nm (加速電壓 1 kV)(減速模式)放大倍數：20 到 1000k         加速電壓：20-1000k電位移：±12μm(WD=8mm)光闌：4孔物鏡活動光闌系統：內置自清潔裝置（孔徑30、50、50、100μm）探測器：低位（Lower）、高位（Upper）二次電子探測器、高位過濾背散射探頭信號選擇：二次電子像、背散射電子像、混合像快速換樣系統：100mm直徑大樣品交換倉，換樣時間30秒真空轉移系統：日立原裝真空轉移系統能譜儀：布魯克60mm2能譜應用范圍1、加速電壓減速功能，具有波長較短、像差較小、分辨力高的一系列優點，降低樣品損傷的同時，可以獲得低電壓高分辨的圖像。2、SE/BSE信號按比例接收功能，電鏡配有低位（Lower），高位（Upper）二次電子探測器，高位過濾背散射探頭，可以通過改變透鏡內變換電極的電壓，讓檢測器捕捉到二次電子及背散射電子，以任意比例（100級）混合，達到最 佳對比度的觀察，抑制荷電、邊緣效應，從而獲得對比度最 佳的SEM像。

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技術參數1. 能量分辨率：Ag3d5/2峰位FWHM < 0.48eV；C1s譜中O=C-O峰位FWHM < 0.82eV 2. 最小x-ray 束斑：<10.0μm（x軸）；<10.0μm (y軸) 3. Ar離子濺射槍最大束流：>5.0μA @5kV4. Ar離子/C60離子濺射槍差分氣壓：< 6.7x10-6 Pa (5x10-8Torr) 5. Ar氣團簇離子槍的最大電流：>40nA @ 20kV 6. Ar氣團簇離子最小束斑：500 μm @ 20 kV7. 樣品臺的冷熱性能：-140°C~800°C  應用范圍無機化合物、合金、聚合物、能源電池、表面缺陷（腐蝕，異物，污染，分布不均等）、表面多層薄膜等

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